特許
J-GLOBAL ID：200903041983516282
半導体ウエハ製作プロセスのリアルタイム・インシチュ対話型監視方法およびシステム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
坂口 博 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-338911
公開番号（公開出願番号）：特開2000-003842
出願日： 1998年11月30日
公開日（公表日）： 2000年01月07日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 半導体ウエハ製作プロセス中にツールにおいて行われるステップのリアルタイム・インシチュ対話型監視を行う方法およびシステム。【解決手段】 このシステムはツールおよびそれに接続されたコンピュータと、終点検出制御装置と、データベースと、当該ステップとウエハ処理全体を監視するスーパーバイザとを含む。制御装置はステップの重要なプロセス・パラメータを監視するために使用され、インシチュ測定を行う。データベースには、正常動作条件と特定されたあらゆる逸脱とに対応するプロセス・パラメータの変動が入れられる。処理中、重要なパラメータが制御装置によって絶えず監視される。スーパーバイザによってリアルタイム・インシチュで信号がコード化され、分析され、データベースに記憶されている対応するデータと比較される。
請求項（抜粋）：
ウエハのバッチに属する半導体ウエハを製作するプロセスの所定のステップのリアルタイム・インシチュ対話型監視方法であって、a)前記所定のステップの監視にとって決定的な少なくとも1つのプロセス・パラメータを選択する予備ステップと、b)データベースを設定する予備ステップとを含み、前記データベースは、正常な動作条件とプロセス技術者によって特定されたそのすべての逸脱とにおける前記選択されたプロセス・パラメータの変動と、プロセス技術者によって定義され、各逸脱の不合格基準を含むあらゆる前記逸脱を認識するように適合化された分析規則を表すアルゴリズムと、逸脱の各場合のアラート・コードとをコード形式で含む、前記データベースの「アラーム」構成要素と呼ぶ第1のファイルと、前記所定のステップのバッチ名、プロセス名、およびステップ名と検討中のウエハの識別番号とを指す参照と共に当該ステップまでのウエハの履歴をコード化形式で含み、検討中の前記ウエハについての前のプロセス・ステップの重要なプロセス・パラメータと前記選択されたプロセス・パラメータの変動とを含む、前記データベースの「ウエハ履歴」構成要素と呼ぶ第2のファイルとを含み、前記方法は前記所定のステップについて、c)前記製作プロセスの前記所定のステップにおいて前記ウエハを処理する少なくとも1つのチャンバを有するツールと、前記ツールの物理プロセス・パラメータを制御するツール・コンピュータと、前記ステップにとって決定的な少なくとも1つの選択されたプロセス・パラメータを監視する少なくとも1つの監視装置と、前記監視装置または前記プロセス・ツールあるいはその両方に内蔵され、インシチュ・プロセス・パラメータ測定を行うことができる少なくとも1つの測定装置と、ネットワークを介して前記コンピュータと前記監視装置と前記測定装置と前記データベースとに接続され、前記所定のステップのプロセス・フローを監視するスーパーバイザとを設けるステップと、d)前記ツール・チャンバに前記ウエハを搬入するステップと、e)前記測定装置を使用して所定のプロセス・パラメータ(たとえば厚さ)をインシチュ測定し、その値をただちにまたは後で使用するために前記データベースに記憶するステップと、f)前記ステップでただちに使用して少なくとも1つのプロセス・パラメータ(たとえばエッチング速度)を更新して前記所定のステップの動作条件を変更するために前記データベースから前記値を取り出すステップと、g)ウエハ処理を開始するステップと、h)前記スーパーバイザによって前記選択されたプロセス・パラメータを絶えず分析し、前記データベースに記憶されている前記対応するデータと比較して前記所定のステップ中に発生する可能性のあるあらゆる逸脱をリアルタイム・インシチュで検出するステップと、i)逸脱が検出されなかった場合は、正常終了までウエハ処理を続け、そうでない場合は、検出された逸脱に対応するアラート・コードで定義される是正措置を講じるステップと、j)前記所定のステップの処理を表すすべてのデータをいわゆる「ステップ・レポート」に記憶し、アラート・コード(ある場合)を「アラーム」レポートに記憶して検討中の前記ウエハのウエハ履歴ファイルを更新するステップとを含む方法。
IPC (2件)：
H01L 21/02
, H01L 21/3065
H01L 21/02 Z
, H01L 21/302 B
