特許
J-GLOBAL ID：200903041989901005
固体撮像装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
内原 晋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-232710
公開番号（公開出願番号）：特開平5-075158
出願日： 1991年09月12日
公開日（公表日）： 1993年03月26日
要約：
【要約】【目的】固体撮像装置における白キズ不良を低減する。【構成】フォトダイオード表面の電位固定用P型拡散層を分子線エピタキシャル層で形成する。
請求項（抜粋）：
半導体基板の一主面上に複数個の光電交換領域と電荷転送領域を有する固体撮像装置において、該固体撮像装置表面の少なくとも一部は分子線エピタキシャル成長層で形成されていることを特徴とする固体撮像装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 31/10 A
, H01L 27/14 A
