特許
J-GLOBAL ID：200903041995122000
カップホイ-ル型砥石およびそれを備えた研削装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-105890
公開番号（公開出願番号）：特開2003-300167
出願日： 2002年04月09日
公開日（公表日）： 2003年10月21日
要約：
【要約】【課題】 研削装置のスピンドルに装着されたカップホイ-ル型砥石が真正商品か模造品か判別できる基板用研削装置の提供。【解決手段】 チャック4に保持された基板wを水平方向に回転させつつ、かつ、研削液を基板表面に供給しつつ、研削ヘッドHのスピンドル8に軸承されたカップホイ-ル型砥石50の砥石小片55が前記基板の略中心点を通過するようにカップホイ-ル型砥石を基板面上で摺動させて基板表面を研削する研削装置において、前記カップホイ-ル型砥石50は、環状の周壁と、その一端に設けられた底壁とを備えたカップ状アルミニウム製台金の前記周壁の底壁とは反対面の上面に環状砥石を固定したカップホイ-ル型砥石であって、前記台金53にはカップホイ-ル型砥石が真正商品であることを表示可能な磁気コ-ドチップ70が備えられたものであり、前記カップホイ-ル型砥石の前記台金に相向する研削ヘッド面には磁気コ-ドチップのコ-ドを読み取る磁気センサ80が設けられていることを特徴とする、基板の研削装置。
請求項（抜粋）：
環状の周壁と、その一端に設けられた底壁とを備えたカップ状アルミニウム製台金の前記周壁の底壁とは反対面の上面に環状砥石を固定したカップホイ-ル型砥石であって、前記台金にはカップホイ-ル型砥石が研削装置のスピンドルに固定される側にカップホイ-ル型砥石が真正商品であることを表示可能な磁気コ-ドチップが備えられていることを特徴とする、カップホイ-ル型砥石。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B24D 7/00 T
, B24B 7/04 A
3C043BA03
, 3C043BA11
, 3C043CC04
, 3C043CC13
, 3C063AA02
, 3C063AB05
, 3C063BA03
, 3C063BB02
, 3C063BC03
, 3C063BG01
, 3C063BG10
, 3C063DD09
