特許

J-GLOBAL ID：200903041995556328

物体上に膜を形成する成膜方法および装置

発明者： エドゥアルド キューグラー
出願人/特許権者： バルツェルス アクチェンゲゼルシャフト
代理人 (1件)： 青木 朗 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-092503
公開番号（公開出願番号）：特開平6-128742
出願日： 1992年04月13日
公開日（公表日）： 1994年05月10日
要約：

【要約】【目的】 物体上に膜を形成する成膜方法および装置に関し、直流及び交流を用いたグロー放電の作用により噴霧効率を向上されることを目的とする。【構成】 少なくとも一つの膜で少なくとも一つの物体を被う成膜方法において、オーミック導電性の試料が直流および重畳する交流を用いて作動されるグロー放電内で噴霧され、噴霧された試料が試料および加工材の間の空間で気体と反応し、加工材に堆積し、成膜処理が金属モードと反応モードの間の不安定な推移モードで実行され、前記膜は試料の素材よりも低い導電性を有するように構成する。

請求項（抜粋）：

少なくとも一つの膜で少なくとも一つの物体を被う成膜方法において、オーミック導電性の試料が直流および重畳する交流を用いて作動するグロー放電内で噴霧され、噴霧された試料が試料と加工材の間の空間で気体と反応し、加工材に堆積し、成膜処理が金属モードと反応モードの間の不安定な推移モードで実行され、前記膜は試料の素材よりも低い導電性を有する成膜方法。