特許

J-GLOBAL ID：200903041996964950

アライメント装置及び露光装置

発明者： 関 川 百 合 子 ,  行 田 道 知
出願人/特許権者： 株式会社アドテックエンジニアリング
代理人 (1件)： 高橋 清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-244308
公開番号（公開出願番号）：特開2002-055458
出願日： 2000年08月11日
公開日（公表日）： 2002年02月20日
要約：

【要約】【課題】 フォトレジストに覆われたプリント基板の位置合わせ用マークの撮像が可能なアライメント装置及び露光装置を提供する。【解決手段】 CCDカメラ3に近赤外線照射装置8を設け、該近赤外線照射装置8はプリント基板2の第2マーク20に照射して、フォトレジスト25を透過し、第2マーク20で反射してきた近赤外線をCCDカメラ3で受光して、フォトレジスト25に覆われた第2マーク20の画像を得る。

請求項（抜粋）：

被露光対象物と該被露光対象物に焼き付けるべきパターンを描いたフォトマスクとの位置合わせを行うアライメント装置において、前記フォトマスクに設けられた位置合わせ用の第1のマークと、前記被露光対象物に設けられた位置合わせ用の第2のマークと、前記第2のマークに近赤外線を照射する装置と、前記第2のマークに照射された近赤外線により前記第2のマークを撮像する装置と、該撮像された第2のマークと前記第1のマークを基準として、被露光対象物とフォトマスクとを位置合わせする装置と、を備えたアライメント装置。

IPC (4件)：

G03F 7/20 501 ,  G01B 11/00 ,  G03F 9/00 ,  H05K 3/00

FI (4件)：

G03F 7/20 501 ,  G01B 11/00 H ,  G03F 9/00 Z ,  H05K 3/00 H

Fターム (20件)：

2F065AA03 ,  2F065BB27 ,  2F065CC01 ,  2F065FF04 ,  2F065GG07 ,  2F065GG21 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ31 ,  2H097BA10 ,  2H097GA45 ,  2H097KA03 ,  2H097KA12 ,  2H097KA13 ,  2H097KA20 ,  2H097KA29 ,  2H097LA09

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平2-000309
  
• 位置検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-056324   出願人：株式会社ニコン
• 特開平2-000309
  
• 露光マスクおよび露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-311088   出願人：大日本印刷株式会社