特許

J-GLOBAL ID：200903042002672847

基板上の粒子除去装置および粒子除去方法

発明者： 山崎 進也 ,  青木 秀充
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-121425
公開番号（公開出願番号）：特開平9-306882
出願日： 1996年05月16日
公開日（公表日）： 1997年11月28日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、基板の表面に損傷を与えることなく、0.2μm以下の微粒子でさえ効果的に除去する方法およびその装置を提供することを目的とする。【解決手段】 粒子が付着している基板を保持する手段と、前記基板に帯電した気体を吹き付ける手段と、前部に粒子吸引口を有し、該吸引口付近に電気集塵板、後部に真空排気手段を備えた集塵手段と、該電気集塵板を帯電させる手段とを備えた粒子除去装置。

請求項（抜粋）：

粒子が付着している基板を保持する手段と、前記基板に帯電した気体を吹き付ける手段と、前部に粒子吸引口を有し、該吸引口付近に電気集塵板、後部に真空排気手段を備えた集塵手段と、該電気集塵板を帯電させる手段とを備えた粒子除去装置。

IPC (3件)：

H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304 ,  H01L 21/02

FI (3件)：

H01L 21/304 341 E ,  H01L 21/304 341 M ,  H01L 21/02 D