特許
J-GLOBAL ID：200903042004056604
表示素子表面欠陥抽出方法を具備した表示素子の表示画面検査方法とその実施に使用する検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
角田 仁之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-155423
公開番号（公開出願番号）：特開平11-326123
出願日： 1998年05月21日
公開日（公表日）： 1999年11月26日
要約：
【要約】【課題】 ディスプレーの表示素子表面のゴミ付着等に起因する欠陥を検出把握し前記ディスプレー合否における欠陥検出の誤認識を防止する表示素子検査方法。【解決手段】 移動ステージ上に搭載された表示素子を下部のバックライトで照射し、該表示素子の上部に設けたCCDのセンサカメラに該表示素子の画像の検出光度を取り込み、画像処理部で処理して表示素子の合否を判定する検査装置において、該バックライトを消灯する手段と表示素子の側面上部に照射ランプ手段を設けて、本来の表示素子のTFTの欠陥を検査する前に、バックライトを消灯し又は光を遮断して前記照射ランプ手段で表示素子の表面を照射し、該表面の光度をセンサカメラに取り込み、該表示素子の表面のゴミ等の欠陥を把握するステップよりなる表面欠陥抽出方法を具備した表示素子検査方法。
請求項（抜粋）：
表示用光源からの透過光により表示を行うようにした移動ステージ上に搭載されたディスプレーの表示素子とその上方の所定の位置にCCDセンサカメラを配置し、該CCDセンサカメラと接続した画像処理部を設けて、前記の表示素子とCCDセンサカメラの位置関係を基準位置に設定し、該基準位置に対応した関係位置で抽出した表示素子のセンサ画素の検出光度に基づいて画像処理部により該センサ画素の光度を抽出するようにした表示素子の表示画面を検査画面として表示素子の良否を検査するための表示素子の表示画面検査方法において、前記表示素子の良否の検査に先立ち、前記透過光を消灯又は遮断すると共に、前記移動ステージの側面上方から前記表示素子の表面を所定の照射ランプで照射するようにし前記CCDセンサカメラで前記表示素子の表面のセンサ画素の光度を検出して該表示画面の傷及びゴミに起因する欠陥を抽出する表示素子表面欠陥抽出方法を具備した表示素子の表示画面検査方法。
IPC (4件)：
G01M 11/00
, G09G 3/20 670
, G02F 1/13 101
, G09G 3/36
G01M 11/00 T
, G09G 3/20 670 Q
, G02F 1/13 101
, G09G 3/36
