静電チャック

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-039790
公開番号（公開出願番号）：特開平8-236603
出願日： 1995年02月28日
公開日（公表日）： 1996年09月13日
要約：

【要約】【構成】電極2が配設された基体1表面に窒化アルミニウム結晶相を主相とするセラミック抵抗体層3を具備した静電チャックであって、その抵抗体層3として、窒化アルミニウム結晶相を主体とし、Znなどの周期律表第2b族元素、あるいはSなどの周期律表第6b族元素を含有せしめ、25°Cの体積固有抵抗が107 〜1013Ω-cmの抵抗体層をCVD法などにより形成する。【効果】半導体製造過程において高い吸着特性と幅広い温度範囲で安定した吸着特性を維持でき、静電チャックとして優れた信頼性と長期安定性が得られるとともに、製造コストの低減を図ることができる。

請求項（抜粋）：

電極が配設された基体の表面に、窒化アルミニウム結晶相を主体とし、周期律表第2b族および酸素を除く第6b族元素から選ばれる少なくとも1種の元素を含み、且つ25°Cにおける体積固有抵抗が107 〜1013Ω-cmのセラミック抵抗体層を形成したことを特徴とする静電チャック。

IPC (3件)：

H01L 21/68 , C04B 35/581 , B23Q 3/15

FI (3件)：

H01L 21/68 R , B23Q 3/15 D , C04B 35/58 104 A

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