特許

J-GLOBAL ID：200903042015949490

力測定変換器

発明者： アリ レート ,  マルク オルパナ ,  アンシ コロホーネン ,  シモ タメラ
出願人/特許権者： ヴァイサラ テクノロジーズ インコーポレイテッド オイ
代理人 (1件)： 杉村 暁秀 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-117200
公開番号（公開出願番号）：特開平6-034474
出願日： 1993年05月19日
公開日（公表日）： 1994年02月08日
要約：

【要約】【目的】 変換器に静的構体及び偏位可能構体を組み込むことによって出力信号が光源の強度変化や高温の影響を受けにくい力変換器を得る。【構成】 本体部分15及び感知素子27によって、反射モード動作の光学的ファブリ-ペロットタイプ感知共振器21,23,33を形成し、光学的検出組立体1,6,8 を、感知共振器21,23,33に光学的に接続した広域スペクトル光源1と、感知共振器21,23,33によって変化した光の強度を検出するため光源1に光学的に接続した強度検出器8と、感知共振器21,23,33及び光源1に光学的に接続し、また感知素子27に加わる力F,F ′に比例した感知共振器21,23,33の光学的長さを決定するために制御可能な光学的長さを有するファブリ-ペロットタイプの掃進走査共振器41,49,51とを設ける。

請求項（抜粋）：

- 本体部分(15)と、- 前記本体部分(15)に弾性的に取り付けた感知素子であって、前記本体部分(15)に対する偏位を使用して前記感知素子に加わる力を計算することができる受力素子として作用する感知素子(27,37) と、-前記感知素子(27,37) の偏位を決定する光学的検出組立体(1,6,8) とを具えた力変換器において、-前記本体部分(15)及び前記感知素子(27,37) によって、反射モードで動作する短い光学的ファブリ-ペロットタイプの感知共振器(21,23,33)を形成し、-前記光学的検出組立体(1,6,8) を、-前記感知共振器(21,23,33)に光学的に接続した広域スペクトル光源(1) と、-前記感知共振器(21,23,33)によって変化した光の強度を検出するため、前記光源(1) に光学的に接続した強度検出器(8) と、-前記前記感知共振器(21,23,33)及び前記光源(1) に光学的に接続し、また前記感知素子(27)に加わる力(F,F′)に比例した感知共振器(21,23,33)の光学的長さを決定するために制御可能な光学的長さを有するファブリ-ペロットタイプの掃進走査共振器(41,49,51)と、を有するものとして構成したことを特徴とする力測定変換器。