特許

J-GLOBAL ID：200903042016276200

エッチング液

発明者： 細見 彰良 ,  細田 篤史 ,  木暮 直毅
出願人/特許権者： 三菱瓦斯化学株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-238766
公開番号（公開出願番号）：特開2002-053984
出願日： 2000年08月07日
公開日（公表日）： 2002年02月19日
要約：

【要約】【課題】 チタン、タングステンまたはチタン・タングステン合金をエッチングする際、過酸化水素の安定化を達成し、経済的かつ操作安定性に優れたエッチング液を提供する。【解決手段】 5-アミノ-1H-テトラゾール、5-メチルテトラゾールおよび3-アミノ-1H-1,2,4-トリアゾールからなる群から選ばれる少なくとも一種と過酸化水素水溶液とを含有することを特徴とする金属膜を有する半導体装置のエッチング液。

請求項（抜粋）：

5-アミノ-1H-テトラゾール、5-メチルテトラゾールおよび3-アミノ-1H-1,2,4-トリアゾールからなる群から選ばれる少なくとも一種と過酸化水素水溶液とを含有することを特徴とする金属膜を有する半導体装置のエッチング液。

IPC (3件)：

C23F 1/26 ,  H01L 21/306 ,  H05K 3/06

FI (3件)：

C23F 1/26 ,  H05K 3/06 M ,  H01L 21/306 F

Fターム (14件)：

4K057WB08 ,  4K057WE25 ,  4K057WF01 ,  4K057WF10 ,  4K057WG02 ,  4K057WG03 ,  5E339BC01 ,  5E339BE17 ,  5F043AA26 ,  5F043BB18 ,  5F043DD07 ,  5F043EE22 ,  5F043EE23 ,  5F043GG10