特許
J-GLOBAL ID：200903042017545590
ワークの熱圧着装置および熱圧着方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-278378
公開番号（公開出願番号）：特開平11-119841
出願日： 1997年10月13日
公開日（公表日）： 1999年04月30日
要約：
【要約】【課題】 ワークの種類に応じて熱圧着ツールを交換した場合でも、最適なヒータの温度制御が行えるワークの熱圧着装置および熱圧着方法を提供することを目的とする。【解決手段】 熱圧着ツール加熱用のヒータ13を温度制御部21によりPID制御してワークを基板に熱圧着する熱圧着装置において、熱圧着過程で用いられるPIDパラメータを、ワークに対応した異なる種類の複数の熱圧着ツール、および各ワークに所定の加熱プロファイルの各温度ステップに応じて予め設定し、記憶部25に記憶させておく。ワークの熱圧着に際しては、熱圧着ツールを交換するごとに、さらには各温度ステップごとに最適のPIDパラメータを記憶部25より読み出し、これらのパラメータによって温度制御を行う。これにより、所定の温度プロファイルに従い、精度よく温度制御を行うことができる。
請求項（抜粋）：
熱圧着ツールを加熱するヒータと、このヒータの温度をPID制御する温度制御部と、複数の異る熱圧着ツールを交換するツール交換手段と、前記熱圧着ツールのそれぞれに固有の温度制御パラメータを記憶する記憶部とを備えたことを特徴とするワークの熱圧着装置。
IPC (5件)：
G05D 23/00
, G05B 11/36 501
, G05D 23/19
, H01L 21/52
, H01L 21/603
G05D 23/00 D
, G05B 11/36 501 F
, G05D 23/19 E
, H01L 21/52 H
, H01L 21/603 C
, H01L 21/603 B
