試料支持部材操作機構及びクラスタ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：逢坂宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-353268
公開番号（公開出願番号）：特開平6-181042
出願日： 1992年12月11日
公開日（公表日）： 1994年06月28日
要約：

【要約】【構成】試料20を固定するプラットフォーム2と、これを支持するスタブ3とによって試料支持部材1が構成され、試料支持部材1はフォーク挿入溝4を有する。ポスト9はスタブの空間3cに嵌入し、一対のロックレバー5のフック部5bが捩りコイルばね7によってポスト小径部9cに挿入されて試料支持部材1がポスト9にロックされる。フォーク挿入溝4にフォーク8が挿入されてこれに押されてロックレバー接当面5aが互いに近付くと、ロックレバー5が揺動中心6を支点として揺動し、フック部5bが開いてロック解除される。【効果】フォークの移動に連動してロック及びロック解除がなされるので、これらの操作がワンタッチでなされ、構造も簡単となる。また、試料支持部材がポストから離れても、フォークはフォーク挿入溝に挿入されて試料支持部材を支持するので、フォークを 180度回転させて試料支持部材が上下反転してもこれが落下することがない。従って、安全に試料を下向きにでき、試料に対する処理が下側からも行え、種々の処理に対応できる。

請求項（抜粋）：

試料固定部と、この試料固定部を支持する支持部とからなり、移送手段挿入溝を有する試料支持部材と、前記移送手段挿入溝に挿入されて前記試料支持部材を支えた状態で、この試料支持部材を移送する、及び/又は所定角度回すための移送手段と、前記試料支持部材を着脱可能に固定する固定手段と、前記移送手段挿入溝に対する前記移送手段の往復動時に、この移送手段に連動して前記試料支持部材を前記固定手段に対してそれぞれロック解除及びロックするロック手段とを有する試料支持部材操作機構。

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