特許

J-GLOBAL ID：200903042023995565

レーザダイオードの出力パワーを制御する装置

発明者： ジャン-フランソワ ケニア ,  アンドレ ジェラール
出願人/特許権者： フランス テレコム エタブリスマン オートノンドゥ ドロワ ピューブリック (サントル ナシォナル デチュード デ テレコミュニカシォン)
代理人 (1件)： 越場 隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-208651
公開番号（公開出願番号）：特開平6-097548
出願日： 1993年07月30日
公開日（公表日）： 1994年04月08日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 xy方向の相対位置関係やギャップの検出が容易で、しかもホログラム変形にも対応できるアライメント方法を備えたホログラフィを用いた露光方法及び装置等を提供すること。【構成】 ホログラフィ露光方法において、アライメント用のホログラムを形成する手段と、ウエハ5aに設けられたウエハからの回折波E2をアライメント用のホログラムを介して検出する工程と、この検出結果に基づいてウエハとホログラムとの相対位置ずれを検知し又は補正するアライメント手段を有するもの。

請求項（抜粋）：

光ファイバと結合することができるレーザダイオードの出力パワーを制御する制御装置であって、上記レーザダイオードによって放出された出力パワーの特性信号を獲得するために使用されるフォトダイオードと、サーボ制御計算プログラム記憶手段と組み合わされた中央処理装置を備え、老化現象、温度の変化、このダイオードの光ファイバとの結合によるパワーの損失または温度に応じたフォトダイオードの応答の変化によるレーザダイオードの特性曲線のドリフトまたは勾配の変化に関係なく、一定の出力パワーを維持するように、上記特性信号を受けて処理し、電流駆動信号を発生して、上記レーザダイオードを駆動することができるデジタル駆動手段と、異常動作の検出で警報をトリガするために使用される警報管理記憶手段と、上記レーザダイオードの特性に関するパラメータ、警報パラメータ及びファイバ結合パラメータの記憶手段と、上記中央処理装置が管理センタに情報を送る、及び/または、管理センタから情報を受けることができる通信チャネルとを備えることを特徴とする制御装置。

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-142785
  
• 特開平3-209890
  
• 特開平4-142785
  
• 特開平3-209890