特許
J-GLOBAL ID：200903042026299055
光開閉装置、表示装置及びこれらの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梅田 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-232233
公開番号（公開出願番号）：特開平11-072722
出願日： 1997年08月28日
公開日（公表日）： 1999年03月16日
要約：
【要約】【課題】 光開閉装置および表示装置の透過率とコントラスト比を高くし、かつ高精細で低コスト化を可能とする。【解決手段】 透明基板2と、遮光性の部材を備え前記透明基板上に形成した片持梁4とからなり、前記片持梁4は線膨張率の異なる2つ以上の材料5、6及びヒーターの形状にパターニングされた電極膜7とを有してなることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
透明基板と、遮光性の部材を備え前記透明基板上に形成した片持梁とからなり、前記片持梁は線膨張率の異なる2つ以上の材料、及びヒーターの形状にパターニングされた電極膜とを有してなることを特徴とする光開閉装置。
IPC (3件)：
G02B 26/08
, G09F 9/37
, G09F 9/37 305
G02B 26/08 B
, G09F 9/37 A
, G09F 9/37 305
