特許
J-GLOBAL ID:200903042029521336

固体撮像素子

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 土屋 勝
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-104919
公開番号(公開出願番号):特開平7-099300
出願日: 1994年04月19日
公開日(公表日): 1995年04月11日
要約:
【要約】【目的】 撮像機能を有する画素群の中心部と周辺部とで感度の差を少なくし、且つ歩留りを高める。【構成】 有効画素領域11の周辺をダミー画素領域45と光学的黒画素領域12とが順次に取り囲んでいる。ダミー画素46は、センサ部21が電荷蓄積機能を有していないことを除いて、有効画素領域11中の有効画素と同じ構造及び形状を有している。このため、有効画素領域11と光学的黒画素領域12とにおける上層膜37の膜厚の差がダミー画素領域45によって吸収されており、また、ダミー画素46のセンサ部21の欠陥が信号出力として現れない。
請求項(抜粋):
センサ部上に開口を有する遮蔽膜を半導体基板上に備えると共に、前記センサ部の電荷蓄積機能と前記センサ部及び電荷転送部間の電荷読み出し機能と前記電荷転送部の電荷転送機能とを有する不純物構造を前記半導体基板に備える第1の画素群と、この第1の画素群の周辺の少なくとも一部に配されており、センサ部上に開口を有する遮蔽膜を前記半導体基板上に備えると共に、前記センサ部の電荷蓄積機能と前記センサ部及び電荷転送部間の電荷読み出し機能と前記電荷転送部の電荷転送機能とのうちの少なくとも一つの機能を有しない不純物構造を前記半導体基板に備える第2の画素とを具備することを特徴とする固体撮像素子。
IPC (2件):
H01L 27/148 ,  H04N 5/335
引用特許:
出願人引用 (2件)
  • 特開平4-274366
  • 特開平3-240379
審査官引用 (2件)
  • 特開平4-274366
  • 特開平3-240379

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