特許
J-GLOBAL ID：200903042032446019
基板処理装置および基板処理プログラム
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福島 祥人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-287714
公開番号（公開出願番号）：特開2003-100585
出願日： 2001年09月20日
公開日（公表日）： 2003年04月04日
要約：
【要約】【課題】 基板の処理において処理レシピの変数の値が変更できるとともに、処理レシピの変数の値を容易に追跡することができる基板処理装置および基板処理プログラムを提供することである。【解決手段】 実行領域には、ジョブデータに基づいて、ジョブ識別子1に関連付けられたフローレシピ識別子1、フローレシピデータおよび処理条件群が編集領域より複写されるとともに、ジョブ識別子1に関連付けられたパラメータ識別子1、パラメータデータ群が複写されている。ジョブ識別子1に関連付けられた処理条件群の各ライブラリには、ジョブ識別子1に関連付けられたパラメータ識別子1に基づいて実際の値が格納される。また、ジョブ識別子2に関連付けられた処理条件群の各ライブラリには、ジョブ識別子2に関連付けられたパラメータ識別子2に基づいて実際の値が格納される。
請求項（抜粋）：
基板に所定の処理を行う基板処理装置であって、処理手順を規定するとともに処理条件を特定するための変数を含む処理レシピを処理レシピ識別子と関連付けて記憶する第1の記憶手段と、前記第1の記憶手段に記憶される処理レシピにおける変数の値を変数識別子と関連付けて記憶する第2の記憶手段と、ジョブを識別するジョブ識別子、処理レシピ識別子および変数識別子を関連付けて記憶する第3の記憶手段と、前記第1の記憶手段に記憶される処理レシピ、前記第2の記憶手段に記憶される変数の値および前記第3の記憶手段に記憶されるジョブ識別子、処理レシピ識別子および変数識別子の関連付けを編集のために保持する編集用記憶手段と、前記編集用記憶手段に保持される処理レシピのうち指定されたジョブ識別子に関連付けられた処理レシピを実行のために保持する実行用記憶手段と、前記編集用記憶手段に保持される処理レシピのうち指定されたジョブ識別子に関連付けられた処理レシピを実行用記憶手段に複写するとともに、前記ジョブ識別子に関連付けられた変数識別子に基づいて前記処理レシピの変数に値を格納する制御手段と、前記実行用記憶手段に記憶された処理レシピに従って基板に処理を行う処理部とを備えたことを特徴とする基板処理装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L 21/02 Z
, H01L 21/30 502 G
, H01L 21/30 562
