プリアライメントサーチを含む位置合わせ方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-164169
公開番号（公開出願番号）：特開平11-016806
出願日： 1997年06月20日
公開日（公表日）： 1999年01月22日
要約：

【要約】【課題】フォトマスクとウエハの位置合わせでプリアライメント精度が悪く認識範囲に基準マークが現れない場合でもアライメント可能なようにプリアライメントサーチを行う方法の提供。【解決手段】左右の視野から観察しながら試料( ウエハ) を基準マークに基づきプリアライメントを行う位置合わせ装置で、正常なアライメントにおける左右視野の基準マークの画像及び相対位置関係を登録し(S1)、所望の試料を当該装置にローディングし(S2)、相関関係を求めるパターンマッチング方法の利用で左右視野の基準マークを検出し(S3)、左視野または右視野の基準マークの検出状況を判定し(S4,S5,S6)、左右視野内に基準マークが在る位置の試料に対してはそのままアライメントを行い(S7)、基準マークが少なくとも左/右視野内に無い場合には回転・平行移動等の適宜な移動方法でプリアライメントサーチ(S8,S9,S10) 後、アライメントを行う。

請求項（抜粋）：

左右の視野から観察しながら試料を所定の複数の基準マークに基づきプリアライメントを行う画像認識手段を含む位置合わせ装置による位置合わせ方法において、正しくアライメントされた左右視野の基準マークの画像及びこれらの相対位置関係を予め前記画像認識手段に登録するステップ( S1) と、所望の試料を位置合わせ装置にローディングを行うステップ( S2) と、所定の相関関係のパターンマッチング方法を利用することにより、左右視野の基準マークを検出するステップ( S3) と、左視野または右視野の基準マークの検出状況を判定するステップ( S4,S5,S6) と、左右視野内に共に所定の基準マークが在る当該試料に対してアライメントを行うステップ( S7) と、少なくとも左視野または右視野内に所定の基準マークが検出できない場合、所定の移動方法をそれぞれの場合に適用して所定のプリアライメントサーチを行うステップ( S8,S9,S10) と、から成ることを特徴とするプリアライメントサーチを含む位置合わせ方法。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , G03F 9/00 , H01L 21/68

FI (3件)：

H01L 21/30 520 A , G03F 9/00 H , H01L 21/68 M

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平1-200644
特開昭59-089417
特開平1-200644

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