特許

J-GLOBAL ID：200903042039687046

積層型電気・歪変換素子の製造方法

発明者： 服部 徹夫 ,  野村 達士 ,  渡辺 俊二
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-269452
公開番号（公開出願番号）：特開平7-106662
出願日： 1993年10月04日
公開日（公表日）： 1995年04月21日
要約：

【要約】【目的】 積層接着作業が簡単かつ容易で、作業時間を大幅に短縮すると共に、内部電極と外部電極板の電気的接触が確実で信頼性を向上させる。【構成】 セラミック素材1と外部電極板3を接着剤を使用しないで交互に積層し、さらに外部電極板3を金属板部材4,5に交互に電気的に接続する。しかる後この積層体15を接着剤液14中に浸漬し、真空容器11をロータリーポンプ13によって真空に引く。一定時間浸漬した後、真空容器11を開いて積層体15を接着剤液14の中から取出し、積層体15に付着している接着剤を加熱もしくは室温にて硬化させる。

請求項（抜粋）：

表裏面にそれぞれ内部電極が形成された圧電材料または電歪材料からなるセラミック素材と外部電極板を複数枚交互に積層接着して積層型電気・歪変換素子を製造する方法において、前記セラミック素材と外部電極板を接着剤を使用しないで交互に密着積層し、前記外部電極板を異なった2つの金属板部材に交互に電気的に接続し、しかる後この積層体を接着剤液中に浸漬させることにより前記セラミック素材と外部電極板を接着することを特徴とする積層型電気・歪変換素子の製造方法。

IPC (3件)：

H01L 41/22 ,  H01L 41/083 ,  B05C 3/09

FI (2件)：

H01L 41/22 Z ,  H01L 41/08 Q