特許
J-GLOBAL ID:200903042046406630
インクジェットヘッドおよびその製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
青山 葆 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-030130
公開番号(公開出願番号):特開平10-226077
出願日: 1997年02月14日
公開日(公表日): 1998年08月25日
要約:
【要約】【課題】 寸法精度が高く、耐久性に優れたインクジェットヘッドおよびこのインクジェットヘッドを簡易に精度よく作製できる製造方法を提供する。【解決手段】 インク11を収容するためのインクチャネル13を感光性ポリイミドで形成し、この感光性ポリイミドで形成された部分にレーザ加工を施し、インクチャネル13に連通するノズル12,インクインレット14を設けてインクジェットヘッドが形成されている。
請求項(抜粋):
インクを収容するためのインクチャネルの少なくとも一部を感光性ポリイミドで形成し、この感光性ポリイミドで形成された部分にレーザ加工を施し、前記インクチャネルに連通するインク流通口を設けたことを特徴とするインクジェットヘッド。
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