特許
J-GLOBAL ID：200903042053365000
レーザ加工機のフォーカスヘッド
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
神崎 真一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-193919
公開番号（公開出願番号）：特開2000-024790
出願日： 1998年07月09日
公開日（公表日）： 2000年01月25日
要約：
【要約】【解決手段】 フォーカスヘッド1は、これに取付けられてノズル5を囲繞する磁石からなる第1部材11と、メタルマスク2の反対側から第1磁石に吸着する磁石からなる第2部材12とを備えており、この第1部材と第2部材により常に加工位置の周囲を挟持した状態で加工することができるようにしている。また上記第2部材は、リング状のスクレーパ13を備えており、このスクレーパによりメタルマスクの裏面に付着するドロスを同時にそぎ落としながら加工することができるようにしている。【効果】 第1部材11と第2部材12により常にメタルマスク2の加工位置を挟持しているので、従来に比較して加工精度を向上させることができ、また従来に比較して研磨工程を行なわない分だけ加工コストを低減することができる。
請求項（抜粋）：
レーザ光線を集光する集光レンズを収容したハウジングと、このハウジングに設けられてレーザ光線の光軸に沿って伸びるノズルとを備えたレーザ加工機のフォーカスヘッドにおいて、一方の部材が磁石を有し、他方の部材がそれに吸着される磁石又は磁性体を有する第1部材と第2部材とを設け、上記第1部材をフォーカスヘッドに取付けるとともに、被加工物を第1部材と第2部材との間に挟持するように第2部材を被加工物の反対側から第1部材に吸着させて取付けたことを特徴とするレーザ加工機のフォーカスヘッド。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (10件)：
2H084AA14
, 2H084AA32
, 2H084AE04
, 2H084AE05
, 2H084BB01
, 2H084CC10
, 4E068CA14
, 4E068CD15
, 4E068CG00
, 4E068DA14
