特許
J-GLOBAL ID：200903042060240540
被覆層現像用界面活性剤水溶液
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鐘尾 宏紀 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-237099
公開番号（公開出願番号）：特開2002-049161
出願日： 2000年08月04日
公開日（公表日）： 2002年02月15日
要約：
【要約】【課題】 従来の方法で形成されたレジストパターンに水溶性樹脂被覆層を施し、この被覆層をレジストから供給される酸により架橋した後、被覆層の未架橋部を現像液により溶解除去することによりレジストパターンを太らせ、トレンチパターンやホールパターンを実効的に微細化する際に、パターンのブリッジングやスカムなどによるパターン欠陥の発生を抑制し、縮小寸法制御性の高い微細化パターンを得る。【構成】 水溶性樹脂被覆層の現像液として、N-アシルサルコシネート、N-アシル-N-メチルアラニネート、N-アシルタウリネート、N-アシル-N-メチルタウリネート、脂肪酸アルキロールアミドおよび脂肪酸アルキロールアミドポリオキシエチレン付加物から選ばれた少なくとも1種の界面活性剤を含有する水溶液を用いる。この水溶液には水に溶解する溶剤が含まれていてもよい。
請求項（抜粋）：
界面活性剤および水あるいは水と有機溶剤の混合物からなる被覆層現像用界面活性剤水溶液において、前記界面活性剤がN-アシルサルコシネート、N-アシル-N-メチルアラニネート、N-アシルタウリネート、N-アシル-N-メチルタウリネート、脂肪酸アルキロールアミドおよび脂肪酸アルキロールアミドポリオキシエチレン付加物から選ばれた少なくとも1種からなることを特徴とする被覆層現像用界面活性剤水溶液。
IPC (2件)：
G03F 7/40 511
, H01L 21/027
G03F 7/40 511
, H01L 21/30 570
2H096AA25
, 2H096BA05
, 2H096EA03
, 2H096EA05
, 2H096HA30
, 2H096LA30
, 5F046AA28
, 5F046LA12
