特許

J-GLOBAL ID：200903042067450140

屈曲性に優れた透明導電性フィルムおよびその製造法

発明者： 松本 賢次 ,  宮崎 龍法 ,  高瀬 純治 ,  藤井 貞男
出願人/特許権者： 鐘淵化学工業株式会社
代理人 (1件)： 伊丹 健次
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-059588
公開番号（公開出願番号）：特開平6-251632
出願日： 1993年02月23日
公開日（公表日）： 1994年09月09日
要約：

【要約】【構成】 透明フィルム基板上に、酸素及び水蒸気に対して実質的に不透過性を有する透明な無機系バリヤー性薄膜を5〜100nmの厚みで形成し、更に、該バリヤー性薄膜の上に透明導電性薄膜を20〜400nmの厚みで形成てなり、透明導電性フィルムを20φのステンレス丸棒に50回数巻き付ける屈曲試験後の透明な無機系バリヤー性薄膜の酸素透過度が5cc/m2/day 以下、水蒸気透過度が5g/m2/day 以下であることを特徴とする透明導電性フィルムで、バリヤー性薄膜の成膜パワー密度を1〜4W/cm2 、プロセス圧力を1×10-3〜3×10-3Torrにコントロールすることにより得られる。【効果】 良好な導電性、透明性とともに、優れた屈曲耐久性を有する。ている。

請求項（抜粋）：

透明フィルム基板上に、酸素及び水蒸気に対して実質的に不透過性を有する透明な無機系バリヤー性薄膜を5〜100nmの厚みで形成し、更に、該バリヤー性薄膜の上に透明導電性薄膜を20〜400nmの厚みで形成てなり、透明導電性フィルムを20mmφのステンレス丸棒に50回数巻き付ける屈曲試験後の透明な無機系バリヤー性薄膜の酸素透過度が5cc/m2/day 以下、水蒸気透過度が5g/m2/day 以下であることを特徴とする透明導電性フィルム。

IPC (6件)：

H01B 5/14 ,  B32B 7/02 104 ,  B32B 9/00 ,  C01G 15/00 ,  C23C 14/08 ,  H01B 13/00 503

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開昭63-108614
  
• 特開平1-188660
  
• 特開平4-306513
  

審査官引用 (7件)

• 特開昭63-108614
  
• 特開昭63-108614
  
• 特公昭57-061377
  
• 特開平1-188660
  
• 特開平1-188660
  
• 特開平4-306513
  
• 特開平4-306513