集積型容量性変換器及びその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大西孝治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-255947
公開番号（公開出願番号）：特開平11-088992
出願日： 1997年09月03日
公開日（公表日）： 1999年03月30日
要約：

【要約】【目的】携帯電話等に適した超小型のエレクトレットコンデンサマイクロホンを提供する。【構成】マイクロホン素子10をセラミックパッケージ20内に組み込む。マイクロホン素子10は、インピーダンス変換用のFET、アンプ回路、ノイズキャンセル回路等を積層した半導体チップ11の表面に、背極としての導電膜12、エレクトレット膜13、スペーサ14及び振動膜15を順に積層した構造になっている。エレクトレット膜13は、蒸着等の成膜方法により形成した厚みが2μm程度の薄膜である。

請求項（抜粋）：

IC素子を含む電子回路を集積させた半導体チップと、半導体チップの表面に背極として形成された導電膜と、導電膜の表面に直接成膜により形成されたエレクトレット膜と、エレクトレット膜の外縁部表面に印刷により形成されたスペーサと、スペーサの表面に貼り付けられることによりエレクトレット膜の前面側に空間を介して固定された振動膜とを具備することを特徴とする集積型容量性変換器。

IPC (2件)：

H04R 19/04 , H04R 31/00

FI (2件)：

H04R 19/04 , H04R 31/00 Z

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭57-148500
特開昭54-118283
特開昭57-148500

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