特許

J-GLOBAL ID：200903042069505716

高さ測定装置

発明者： 南 剛
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-029836
公開番号（公開出願番号）：特開2002-236002
出願日： 2001年02月06日
公開日（公表日）： 2002年08月23日
要約：

【要約】【課題】簡便な構成で対象物の高さを高速かつ正確に求めることができる高さ測定装置を提供する。【解決手段】高さ測定装置において、コンピュータ14は、共焦点光学系の対物レンズの焦点位置を測定対象物に対して光軸方向に相対的に変化させて、互いに異なる焦点位置において複数画素よりなる画像を共焦点画像として取得する画像取得手段と、注目画素における強度と焦点位置との関係を示す特性曲線において、2次元方向に異なる場所の焦点位置を示すピークが複数個得られるように各焦点位置で得られる一連の共焦点画像をぼかすボカシ手段と、複数個のピークをもつ特性曲線に基づいて前記測定対象物の高さ分布を算出する高さ算出手段とを具備する。

請求項（抜粋）：

共焦点光学系と、この共焦点光学系の対物レンズの焦点位置を測定対象物に対して光軸方向に相対的に変化させて、互いに異なる焦点位置において複数画素よりなる画像を共焦点画像として取得する画像取得手段と、注目画素における強度と焦点位置との関係を示す特性曲線において、2次元方向に異なる場所の焦点位置を示すピークが複数個得られるように各焦点位置で得られる一連の共焦点画像をぼかすボカシ手段と、複数個のピークをもつ特性曲線に基づいて前記測定対象物の高さ分布を算出する高さ算出手段と、を具備することを特徴とする高さ測定装置。

IPC (2件)：

G01B 11/02 ,  H01L 23/12 501

FI (2件)：

G01B 11/02 H ,  H01L 23/12 501 Z

Fターム (27件)：

2F065AA02 ,  2F065AA03 ,  2F065AA04 ,  2F065AA24 ,  2F065BB07 ,  2F065CC26 ,  2F065DD06 ,  2F065FF01 ,  2F065FF10 ,  2F065FF42 ,  2F065FF49 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL08 ,  2F065LL26 ,  2F065LL30 ,  2F065LL36 ,  2F065LL37 ,  2F065MM15 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ29 ,  2F065QQ33