特許
J-GLOBAL ID：200903042078641754
紫外線照射装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山下 穣平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-134502
公開番号（公開出願番号）：特開平5-304084
出願日： 1992年04月28日
公開日（公表日）： 1993年11月16日
要約：
【要約】【目的】 紫外線導入用窓の汚染を減少又はなくす。【構成】 紫外線光源11と、試料に紫外線を照射する処理室16と、紫外線光源11と処理室16の間にあり、かつ紫外線を透過する材料からなる紫外線導入用窓13とを備えた紫外線照射装置において、紫外線導入用窓13の処理室側の表面が酸素又は酸素を含むガスに接するように構成する。
請求項（抜粋）：
紫外線光源と、試料に紫外線を照射する処理室と、前記紫外線光源と前記処理室の間にあり、かつ紫外線を透過する材料からなる紫外線導入用窓とを備えた紫外線照射装置において、前記紫外線導入用窓の前記処理室側の表面が酸素又は酸素を含むガスに接するように構成したことを特徴とする紫外線照射装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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