特許
J-GLOBAL ID：200903042083875461
結晶製造装置及び方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-240444
公開番号（公開出願番号）：特開平10-087391
出願日： 1996年09月11日
公開日（公表日）： 1998年04月07日
要約：
【要約】【課題】 円筒形の坩堝中で熔融させた結晶性物質の原料を冷却することで結晶化させる結晶製造装置において、坩堝溶液内の半径方向の温度差を減らすことで均一な結晶を得る。【解決手段】 円筒形の坩堝中で熔融させた結晶性物質の原料を冷却することで結晶化させる結晶製造装置において、前記坩堝は、前記原料を収容する領域の上下に設けられた仕切り板と、円筒側面に設けられた断熱手段とを有する。
請求項（抜粋）：
円筒形の坩堝中で熔融させた結晶性物質の原料を冷却することで結晶化させる結晶製造装置において、前記坩堝は、前記原料を収容する領域の上下に設けられた仕切り板と、円筒側面に設けられた断熱手段とを有することを特徴とする結晶製造装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C30B 11/00 C
, H01L 21/208 Z
