特許
J-GLOBAL ID：200903042084121703
メモリリンク処理用の走査ビーム経路の誤差の補正
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 興作
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-566426
公開番号（公開出願番号）：特表2004-527376
出願日： 2002年02月15日
公開日（公表日）： 2004年09月09日
要約：
レーザビームポジショナ(図12,3400,236,260,262,302,304,310,312,316,318,320,322,324,326,328,330,336,342)は、位置決めステージの交差軸設定誤差を補償するためにレーザビームの小角度偏向を行う操作ミラーを用いる。ワークを実行するために位置決めステージのいずれかの軸を用いることができるので、2軸ミラーが好適である。一実施の形態において、位置決めステージ位置コマンドを用いて調整を行うことなく誤差補正のみに対して操作ミラーを用いる。ミラーをチップ及びチルトするために屈曲機構及び圧電アクチュエータを用いる高速操作ミラーは、半導体リンク処理(SLP)アプリケーションに好適である。本発明は、交差軸設定時間を補償し、その結果、SLP装置のスループット及び精度が増大し、同時に、位置決めステージが簡略になる。その理由は、操作ミラーの補正によって、位置決めステージサーボ駆動の要求が緩和されるからである。
請求項（抜粋）：
ターゲットロケーション座標位置コマンドに応答してワークピース上のターゲットロケーションに向かってレーザビームを指導する装置であって、
前記座標位置コマンドに応答して前記ワークピース及びレーザビームの相対位置を設定するポジショナと、
そのポジショナに結合され、前記ポジショナの絶対座標位置を表す第1及び第2位置信号を生成する第1及び第2位置センサと、
前記座標位置コマンドと前記第1及び第2位置信号とを比較し、前記座標位置コマンドと実際の座標位置との間の差を表す第1及び第2誤差信号を表す第1及び第2総和部と、
前記第1誤差信号に結合され、第1位置補正信号を生成する第1操作ミラーコントローラと、
前記第1位置補正信号に応答し、前記レーザビームを受信するとともに、前記ワークピース上のターゲットロケーションに向かうレーザビームを偏向する2軸操作ミラーとを具えることを特徴とする装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B23K26/08 B
, B23K26/00 M
4E068CA09
, 4E068CB01
, 4E068CB05
, 4E068CD12
, 4E068CE03
, 4E068DA10
