特許
J-GLOBAL ID:200903042091459086
マイクロ凹凸パターンを有する樹脂薄膜を備えた光学素子、反射板の製造方法及び装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
花田 久丸 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-056693
公開番号(公開出願番号):特開2002-258017
出願日: 2001年03月01日
公開日(公表日): 2002年09月11日
要約:
【要約】【課題】 配向膜にポリイミドを用いても配向膜形成工程において、マイクロ凹凸パターンが軟化してくずれることがないマイクロ凹凸パターンを有する光学素子の製造方法を提供する。【解決手段】 200°Cを超えるガラス転移温度を有する樹脂薄膜4を基板5上にコートし、樹脂薄膜4の温度をガラス転移温度を超え、かつ熱分解開始温度未満に制御しつつ、型材(3A,33)により樹脂薄膜4表面にマイクロ凹凸パターン40を押圧形成し、その後樹脂薄膜4の温度をガラス転移温度未満に冷却してから型材(3A,33)を分離する。
請求項(抜粋):
基板表面の樹脂薄膜を、マイクロ凹凸パターンを有する型材により押圧してマイクロ凹凸パターンを形成する光学素子の製造方法において、200°Cを超えるガラス転移温度を有する前記樹脂薄膜を前記基板上にコートし、前記樹脂薄膜の温度をガラス転移温度を超え、かつ熱分解開始温度未満に制御しつつ、前記型材により前記樹脂薄膜表面にマイクロ凹凸パターンを押圧形成し、その後前記樹脂薄膜の温度をガラス転移温度未満に冷却してから前記型材を分離することを特徴とする光学素子の製造方法。
IPC (3件):
G02B 5/02
, G02B 5/08
, B29D 11/00
FI (4件):
G02B 5/02 C
, G02B 5/08 A
, G02B 5/08 C
, B29D 11/00
Fターム (35件):
2H042DA02
, 2H042DA04
, 2H042DA12
, 2H042DA14
, 2H042DA21
, 2H042DB08
, 2H042DC01
, 2H042DC02
, 2H042DE00
, 4F213AA21
, 4F213AA29
, 4F213AA40
, 4F213AH73
, 4F213AH74
, 4F213WA02
, 4F213WA04
, 4F213WA43
, 4F213WA52
, 4F213WA58
, 4F213WB01
, 4F213WB11
, 4F213WB22
, 4F213WC02
, 4F213WE02
, 4F213WE06
, 4F213WF01
, 4F213WF24
, 4F213WK01
, 4F213WK03
, 4F213WW02
, 4F213WW06
, 4F213WW15
, 4F213WW26
, 4F213WW37
, 4F213WW50
引用特許:
出願人引用 (14件)
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審査官引用 (14件)
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