特許

J-GLOBAL ID：200903042098400885

外観検査装置

発明者： 多田羅 康史
出願人/特許権者： ローム株式会社
代理人 (1件)： 松尾 憲一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-067514
公開番号（公開出願番号）：特開2004-279071
出願日： 2003年03月13日
公開日（公表日）： 2004年10月07日
要約：

【課題】被検査体に対して検査用光線を照射し、検査用光線に対する反射光線を画像撮像手段で検出し、画像撮像手段で取得した画像情報の解析を行うことにより被検査体の良否判定を行う外観検査装置において、良否判定精度を向上させた外観検査装置を提供すること。【解決手段】照明手段1によって被検査体3に照射した検査用光線Fの反射光線を画像撮像手段で検出することにより被検査体3の検査領域画像情報を取得して、同検査領域画像情報を解析することにより検査を行う外観検査装置Aにおいて、照明手段1に同軸落斜照明を用いる。同軸落斜照明には青色LEDからなる光源を用いる。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

照明手段によって被検査体に照射した検査用光線の反射光線を画像撮像手段で検出することにより被検査体の検査領域画像情報を取得して、同検査領域画像情報を解析することにより検査を行う外観検査装置において、 照明手段には同軸落斜照明を用いたことを特徴とする外観検査装置。

IPC (4件)：

G01N21/956 ,  G06T1/00 ,  H01L23/50 ,  H05K3/00

FI (4件)：

G01N21/956 A ,  G06T1/00 400D ,  H01L23/50 C ,  H05K3/00 Q

Fターム (19件)：

2G051AA61 ,  2G051AB02 ,  2G051AB10 ,  2G051AB20 ,  2G051BA04 ,  2G051BA20 ,  2G051BB03 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051EA12 ,  2G051EA16 ,  2G051ED01 ,  2G051ED07 ,  5B047AA12 ,  5B047BA02 ,  5B047BB04 ,  5B047BC12 ,  5F067AA12 ,  5F067DB10