特許
J-GLOBAL ID：200903042098454381
プラスチック容器の成膜装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-057197
公開番号（公開出願番号）：特開2000-256859
出願日： 1999年03月04日
公開日（公表日）： 2000年09月19日
要約：
【要約】【課題】本発明は、プラズマ化学気相析出法により薄膜を形成するプラスチック容器の成膜装置において、ふく射熱によるプラスチック容器の塑性変形を生ずることなく、均一で緻密な薄膜を、安定して連続成膜が可能なプラスチック容器成膜装置を提供することを目的とする。【解決手段】 外部電極の内側に設置したプラスチック製の容器内に内部電極を挿入配置し、前記容器内を真空にする手段と、内部電極から原料ガスを該容器内に供給する手段と、外部電極と内部電極間にプラズマを発生させる手段とを有し、前記容器内壁面にプラズマ化学気相析出法により薄膜を形成する成膜装置において、前記内部電極が、ガス供給孔を有する部材を備え、且つ該ガス供給孔の直径が0.5mm以下であることを特徴とするプラスチック容器の成膜装置である。
請求項（抜粋）：
外部電極の内側に配設したプラスチック製の容器内に内部電極を挿入配置し、前記容器内を真空にする手段と、内部電極から原料ガスを該容器内に供給する手段と、外部電極と内部電極間にプラズマを発生させる手段とを有し、前記容器内壁面にプラズマ化学気相析出法により薄膜を形成する成膜装置において、前記内部電極が、ガス供給孔を有する部材を備え、且つ該ガス供給孔の直径が0.5mm以下であることを特徴とするプラスチック容器の成膜装置。
Fターム (6件)：
4K030CA07
, 4K030CA15
, 4K030EA05
, 4K030FA03
, 4K030KA17
, 4K030KA46
