特許

J-GLOBAL ID：200903042102011155

流量制御機構

発明者： 本郷 明久 ,  大澤 將 ,  城野 義紀 ,  檜山 浩国 ,  望月 宣宏 ,  信田 昌男
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (5件)： 渡邉 勇 ,  堀田 信太郎 ,  小杉 良二 ,  森 友宏 ,  廣澤 哲也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-099398
公開番号（公開出願番号）：特開2006-275023
出願日： 2005年03月30日
公開日（公表日）： 2006年10月12日
要約：

【課題】 流路の幅がある程度大きい場合であっても、流体を速やかに混合できるような好ましい流量に調整することができる流量制御機構を提供する。【解決手段】 本発明に係る流量制御機構は、2つの流体がそれぞれ流れる2つの流路10A,10Bと、2つの流体にそれぞれ接触する2つのダイアフラム15A,15Bと、2つのダイアフラム15A,15Bを往復移動させる1つまたは2つのダイアフラム駆動(16Cまたは16A,16B)とを備える。上記2つのダイアフラム15A,15Bは同調して往復移動するように構成される。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

2つの流体の流量を制御する流量制御機構であって、 前記2つの流体がそれぞれ流れる2つの流路と、 前記2つの流体にそれぞれ接触する2つのダイアフラムと、 前記2つのダイアフラムを往復移動させる1つまたは2つのダイアフラム駆動部とを備え、 前記2つのダイアフラムは同調して往復移動することを特徴とする流量制御機構。

IPC (4件)：

F04B 43/02 ,  B01J 19/00 ,  B81B 3/00 ,  F04B 43/04

FI (6件)：

F04B43/02 H ,  F04B43/02 L ,  B01J19/00 J ,  B01J19/00 321 ,  B81B3/00 ,  F04B43/04 B

Fターム (17件)：

3H077AA08 ,  3H077CC02 ,  3H077CC09 ,  3H077CC17 ,  3H077DD06 ,  3H077EE16 ,  3H077FF13 ,  4G075AA14 ,  4G075AA39 ,  4G075AA61 ,  4G075BD05 ,  4G075BD16 ,  4G075DA02 ,  4G075DA18 ,  4G075EB21 ,  4G075EC25 ,  4G075ED20