特許

J-GLOBAL ID：200903042107459669

電子放出素子及びそれを用いた画像形成装置

発明者： 山野辺 正人 ,  塚本 健夫 ,  河手 信一
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 渡辺 敬介 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-090628
公開番号（公開出願番号）：特開2000-285792
出願日： 1999年03月31日
公開日（公表日）： 2000年10月13日
要約：

【要約】【課題】 雰囲気を超高真空にしなくとも酸化反応を抑止することができ、電子放出を長期に経時劣化を抑えて安定に得ることができ、そしてそれを用いた画像形成装置について、輝度のばらつき,劣化を抑えて画像表示を安定に行える電子放出素子及びそれを用いた画像形成装置を提供する。【解決手段】 基板4上にベース電極3を設けて、そのベース電極3上にエミッタ部8を設ける。エミッタ部8は尖った先端を持つ形状に形成し、これを囲んで絶縁層5を設けて、絶縁層5の上にはゲート電極6を配設する。エミッタ部8の先端が電子放出体1となる。この電子放出体1を含むエミッタ部8とゲート電極6とに、シリコン酸化物(や弗化カルシウム等)の被覆部材2を成膜させて、所定の厚み(1〜10nm)に被覆する。ゲート電極6,ベース電極3間に電源7を接続し、エミッタ部8の先端に電界を集中させて電子放出を起こさせる。

請求項（抜粋）：

冷陰極の電子放出部から電子を放出する電子放出素子において、前記電子放出部を絶縁性の被覆部材により被覆し、その膜厚を電子がトンネリングし得る膜厚としたことを特徴とする電子放出素子。

IPC (4件)：

H01J 1/304 ,  H01J 1/316 ,  H01J 29/04 ,  H01J 31/12

FI (4件)：

H01J 1/30 F ,  H01J 1/30 E ,  H01J 29/04 ,  H01J 31/12 C

Fターム (10件)：

5C031DD09 ,  5C031DD17 ,  5C036EE01 ,  5C036EE02 ,  5C036EE19 ,  5C036EF01 ,  5C036EF06 ,  5C036EF09 ,  5C036EG12 ,  5C036EH06