特許

J-GLOBAL ID：200903042111248664

光配向装置

発明者： 加藤 英明 ,  磯村 英二 ,  斎藤 好正 ,  吉澤 伸
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 大澤 斌 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-158926
公開番号（公開出願番号）：特開2002-350858
出願日： 2001年05月28日
公開日（公表日）： 2002年12月04日
要約：

【要約】【課題】 大きな基板の照射露光を可能にすると共に、分割配向においても所定の画素領域で照射露光を行うことを目的とする。【解決手段】 照射ヘッドを多連化、多段化して配置し、多連化、多段化した照射ヘッドの下を基板が通過することで照射露光を行い、分割配向の際には、所定の画素領域が照射露光されるように基板を所定の距離移動する機構を備えた光配向装置を提供する。

請求項（抜粋）：

基板の配向を行うための光配向装置であって、光束を絞り照度を上げた多連化した照射ヘッドと、基板を搭載し、移動可能な基板ステージとを備え、前記多連化した照射ヘッドから前記基板へ向けて照射し、各々の照射ヘッドの出力を調整し、照度の均一性を確保した後に、前記基板を搭載した前記基板ステージを移動して前記基板の配向を行うことを特徴とする光配向装置。

Fターム (8件)：

2H090HB08Y ,  2H090HC13 ,  2H090HC17 ,  2H090HC18 ,  2H090HC20 ,  2H090HD14 ,  2H090MA13 ,  2H090MB12