特許
J-GLOBAL ID：200903042111589062
基板処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
稲岡 耕作
, 川崎 実夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-049983
公開番号（公開出願番号）：特開2005-243814
出願日： 2004年02月25日
公開日（公表日）： 2005年09月08日
要約：
【課題】2種の液を液貯留槽に供給可能な構成において、その2種の液が液貯留槽に同時混入されることを確実に防止できる基板処理装置を提供すること。 【解決手段】処理液としての硫酸を処理液タンク3に供給するための処理液配管11と、洗浄液としての純水を処理液タンク3に供給するための洗浄液配管12とに、手動式切替バルブ13が介装されている。手動式切替バルブ13は、手動操作されるレバー19を一方側に倒伏させた状態で、処理液配管11から処理液タンク3への処理液の供給を許可し、洗浄液配管12から処理液タンク3への洗浄液の供給を阻止する。一方、レバー19を他方側に倒伏させた状態で、洗浄液配管12から処理液タンク3への洗浄液の供給を許可し、処理液配管11から処理液タンク3への処理液の供給を阻止する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
液貯留槽と、
この液貯留槽に第1の液を供給するための第1液配管と、
前記液貯留槽に第1の液とは種類の異なる第2の液を供給するための第2液配管と、
手動によって切り替えられ、前記第1液配管における第1の液の流通および前記第2液配管における第2の液の流通を択一的に許可する手動式切替バルブと
を含むことを特徴とする基板処理装置。
IPC (3件)：
H01L21/304
, H01L21/02
, H01L21/306
H01L21/304 648K
, H01L21/304 647Z
, H01L21/02 Z
, H01L21/306 J
