特許

J-GLOBAL ID：200903042112161317

バーンイン装置

発明者： 平野 良則
出願人/特許権者： 安藤電気株式会社
代理人 (1件)： 荒船 博司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-267637
公開番号（公開出願番号）：特開2001-091573
出願日： 1999年09月21日
公開日（公表日）： 2001年04月06日
要約：

【要約】【課題】 バーンイン装置において、バーンインボードとコネクタとの間で発生する接触不良を低減する。【解決手段】 バーンインボード4と中継ボード6とを接続するコネクタ2をバーンインチャンバ1内に有するバーンイン装置である。このバーンイン装置は、コネクタ2の外側面を被覆するコネクタホルダ3を備える。そして、コネクタホルダ3は、少なくとも一対の側壁部3aでコネクタ2を挟み込む構成とし、側壁部3aは、バーンインチャンバ1の内壁面1bに対して位置決めされた状態で固定される。

請求項（抜粋）：

バーンインボードを接続するコネクタをバーンインチャンバ内に有するバーンイン装置において、前記コネクタの外側面を被覆するコネクタホルダを備えることを特徴とするバーンイン装置。

IPC (2件)：

G01R 31/26 ,  H01L 21/66

FI (2件)：

G01R 31/26 H ,  H01L 21/66 G

Fターム (11件)：

2G003AA07 ,  2G003AC01 ,  2G003AD02 ,  2G003AG12 ,  2G003AH05 ,  2G003AH07 ,  4M106AA04 ,  4M106BA14 ,  4M106CA56 ,  4M106DG24 ,  4M106DG30