特許

J-GLOBAL ID：200903042112659943

透明積層体の検査方法および検査装置

発明者： 西村 利雄
出願人/特許権者： ローム株式会社
代理人 (1件)： 吉田 稔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-075344
公開番号（公開出願番号）：特開2002-277411
出願日： 2001年03月16日
公開日（公表日）： 2002年09月25日
要約：

【要約】【課題】 透明積層体における異物の存在を精度良く検査できるようにする。【解決手段】 複数の透明体が積層された透明積層体2の内部に異物が存在するか否かを検査する装置1であって、透明積層体2に光を照射する照明手段3と、透明積層体からの反射光を受光する受光手段(4)と、この受光手段(4)により得られた光の光量に応じて画像情報を演算する演算手段50と、を備えた透明積層体の検査装置1において、演算手段により各透明体毎にこの透明体の表面状態の画像情報を演算し、各透明体の表面状態から、異物が存在する可能性のある透明体を特定するとともに、この透明体の表面状態と当該透明体に隣接する少なくも1つの透明体の表面状態とを比較して、透明積層体内に異物が存在するか否かを判断する異物判断手段52をさらに備えた。

請求項（抜粋）：

複数の透明体が積層された透明積層体の内部に異物が存在するか否かを検査する方法であって、上記透明体に光を照射するとともに、上記各透明体の表面における光の反射状態から上記各透明体の表面状態を把握する第1のステップと、上記各透明体の表面状態から、その表面または内部に異物が存在する可能性のある透明体を特定する第2のステップと、この第2のステップにおいて特定された透明体の表面状態と、この透明体に隣接する少なくとも1つの透明体の表面状態とを比較して、上記透明積層体内に異物が存在するか否かを判断する第3のステップと、を含むことを特徴とする、透明積層体の検査方法。

IPC (2件)：

G01N 21/958 ,  G01B 11/30

FI (2件)：

G01N 21/958 ,  G01B 11/30 A

Fターム (23件)：

2F065AA18 ,  2F065AA49 ,  2F065AA54 ,  2F065BB22 ,  2F065CC25 ,  2F065FF04 ,  2F065FF42 ,  2F065GG04 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ25 ,  2F065MM03 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ08 ,  2F065QQ13 ,  2G051AA90 ,  2G051AB06 ,  2G051BA10 ,  2G051BB01 ,  2G051CA03 ,  2G051CB01 ,  2G051EA08 ,  2G051EB01