透明導電膜付き透明基板の製造方法、およびこれを用いた光電変換装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：池内寛幸 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-080958
公開番号（公開出願番号）：特開2001-035275
出願日： 2000年03月22日
公開日（公表日）： 2001年02月09日
要約：

【要約】【課題】 CVD法など熱分解酸化反応を伴う方法により成膜された透明導電膜は、耐薬品性などには優れているが、高い導電性を得ることが難しい。【解決手段】ガラス板などの透明基板上に、熱分解酸化反応により透明導電膜を形成し、この透明導電膜を熱処理する。熱処理は、大気中などの酸化雰囲気中で行ってから、さらに、窒素中などの非酸化雰囲気中において行う。この透明導電膜上にさらに光電変換ユニットを形成すれば、光電変換特性が改善された光電変換装置とすることができる。

請求項（抜粋）：

透明基板上に熱分解酸化反応により透明導電膜を形成し、前記透明導電膜を、酸化雰囲気において熱処理してから非酸化雰囲気中で熱処理することを特徴とする透明導電膜付き透明基板の製造方法。

IPC (5件)：

H01B 13/00 503 , B32B 7/02 104 , C23C 16/40 , H01J 9/02 , H01J 11/02

FI (5件)：

H01B 13/00 503 B , B32B 7/02 104 , C23C 16/40 , H01J 9/02 F , H01J 11/02 B

Fターム (49件)：

4F100AA05 , 4F100AA20 , 4F100AA28 , 4F100AG00 , 4F100AR00A , 4F100AR00B , 4F100AS00C , 4F100BA02 , 4F100BA03 , 4F100BA04 , 4F100BA07 , 4F100BA10A , 4F100BA10B , 4F100EH662 , 4F100EJ122 , 4F100EJ422 , 4F100EJ582 , 4F100GB41 , 4F100JG01B , 4F100JG04 , 4F100JG10 , 4F100JM02B , 4F100JN01A , 4F100JN01B , 4K030AA03 , 4K030AA04 , 4K030AA06 , 4K030AA09 , 4K030AA14 , 4K030AA18 , 4K030BA30 , 4K030BA44 , 4K030BA45 , 4K030BB12 , 4K030BB13 , 4K030CA06 , 4K030CA12 , 4K030FA10 , 4K030LA16 , 5C027AA01 , 5C027AA03 , 5C040GC19 , 5G323BA02 , 5G323BB02 , 5G323BB03 , 5G323BB04 , 5G323BB05 , 5G323BC01 , 5G323BC02

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開昭63-170813
特開平3-171515
特開昭62-095879

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