特許

J-GLOBAL ID：200903042118827996

ポジ型感光性樹脂組成物

発明者： 大塚 周幸 ,  清尾 守 ,  桜井 清美
出願人/特許権者： 日本ペイント株式会社
代理人 (1件)： 青山 葆 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-013412
公開番号（公開出願番号）：特開平6-230566
出願日： 1993年01月29日
公開日（公表日）： 1994年08月19日
要約：

【要約】【目的】 本発明は露光感度が高くかつ現像時の未露光部の膨潤あるいは溶解が抑制され、かつ他の特性は保持したままのポジ型感光性樹脂組成物を提供する。【構成】 本発明は特定のポリエポキシド化合物、特定のフェノール性水酸基を有するカルボン酸化合物、特定のフェノール性水酸基を有さないカルボン酸化合物および1,2-キノンジアジドスルホン酸ハライド化合物の反応により得られる樹脂を含有するポジ型感光性樹脂組成物を提供する。

請求項（抜粋）：

(A)多価アルコールのグリシジルエーテル化合物、ポリカルボン酸のグリシジルエステル化合物、脂環式グリシジル化合物、グリシジルアミン化合物、複素環式グリシジル化合物およびビスフェノールAのアルキレンオキサイド化合物からなる群より選ばれる少なくとも1種のエポキシ当量75〜1000のポリエポキシド化合物、(B)一般式(I)で表されるフェノール性水酸基を有する芳香族または、複素環式カルボン酸化合物(I)式【化1】(式中Aは置換基を有していてもかまわないアルキレン、アリーレンあるいは-CH=CH-、-CO-R3-、-CO-O-R4-、-CO-CH2NH-であり、R3、R4は置換基を有していてもかまわないアルキレンまたはアリーレン基であり、lは0または1を表し、mは1〜3の整数を表し、R1とR2は同一でも異なっていてもよく夫々水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アルケニル基、ニトロ基あるいはアルコキシ基を表し、またR1とR2はベンゼン環の炭素原子と共に芳香族環、脂環族環あるいは複素環を形成することができる)(C)一般式(II)で表されるフェノール性水酸基を有さない芳香族または複素環式カルボン酸化合物および、(II)式【化2】(式中Bは置換基を有していてもかまわないアルキレン、アリーレンあるいは-CH=CH-、-CO-R'4-、-CO-O-R'5-、-CO-CH2NH-であり、R'4、R'5は置換基を有していてもかまわないアルキレンまたはアリーレン基であり、nは0または1を表し、R'1,R'2およびR'3は同一でも異なっていてもよく夫々水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アルケニル基、ニトロ基あるいはアルコキシ基を表し、またR'1,R'2およびR'3は、隣接する置換基同士ベンゼン環の炭素原子と共に芳香族環、脂環族環あるいは複素環を形成することができる)(D)1,2-キノンジアジドスルホン酸ハライド化合物の4成分の反応により得られ、カルボン酸成分である(B)と(C)の比率は、カルボキシル基当量換算で、(C)が最小10%、最大95%となる構成比であり、かつ、(B)+(C)のカルボキシル基:(A)のエポキシ当量=1:0.8〜1.2であり、さらに、(B)のフェノール性水酸基と(D)のスルホニルハライドの反応により1分子中に残存する未反応フェノール性OH基数が反応前の全フェノール性OH基数の0〜75%となる当量比である樹脂からなるポジ型感光性樹脂組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/023 501 ,  C09D 5/44 PRG ,  G03F 7/085 ,  H01L 21/027 ,  H05K 3/00