特許
J-GLOBAL ID：200903042137446391
赤外線ガス分析計及びCVD装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
河▲崎▼ 眞樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-354433
公開番号（公開出願番号）：特開平8-271418
出願日： 1995年12月29日
公開日（公表日）： 1996年10月18日
要約：
【要約】【課題】 出発原料に液体或いは固体金属化合物を用いるCVD装置に気密性に優れた赤外線ガス分析計を搭載し、生産性及び信頼性を向上させる。【解決手段】 CVD装置は、薄膜形成用基板を設置する反応室21とガス混合室22と、原料物質を充填し混合室22に管路で連結された容器(23等)を収容した恒温槽(26等)と、各管路の赤外線ガス分析計20及びマスフロ-コントロ-ラ29と、前記赤外線ガス分析計からのガス成分毎の濃度や前記マスフロ-コントロ-ラからの流量の検出信号により恒温室の温度及び各マスフロ-コントロ-ラのガス流量等を制御する制御装置30と、を備えている。前記赤外線ガス分析計20は、セルブロックに穿設したガス流路に直角方向より穴を貫通し、端部にセル窓を固着し該セル窓内側に光源又は検出器を配置する空間を設けた筒体を、セル窓が所定測定セル長を有して対向するよう前記穴の両側より嵌め入れてある。
請求項（抜粋）：
セルブロックにガス流路を設けると共に該ガス流路に対して直角或いは所定角度両方向より穴を貫通穿設し、端部にセル窓を固着し該セル窓内側に光源又は検出器を配置する空間を設けた筒体を、ガス流路にて前記セル窓が所定測定セル長を有して対向するよう前記穴の両側より嵌め入れ、前記筒体内の赤外線光源又は赤外線検出器用のリ-ド線をハ-メチックシ-ルして通した押さえ板で前記赤外線光源又は赤外線検出器用の空間を密封してなる赤外線ガス分析計。
IPC (5件)：
G01N 21/35
, C23C 16/44
, G01N 21/05
, H01L 21/205
, H01L 21/66
G01N 21/35 Z
, C23C 16/44 D
, G01N 21/05
, H01L 21/205
, H01L 21/66 Z
審査官引用 (2件)
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特開昭62-198733
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特開昭53-098889
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