特許
J-GLOBAL ID：200903042139117743
基板検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-264342
公開番号（公開出願番号）：特開平11-160242
出願日： 1998年09月18日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：
【要約】【課題】小型化を実現できるとともに、被検査基板に対し精度の高い欠陥検査を効率よく行なうことができる基板検査装置を提供すること。【解決手段】被検査基板3を保持する基板保持手段(2)と、この基板保持手段(2)を所定角度まで立ち上げる駆動手段と、前記基板保持手段(2)に、前記被検査基板3の側縁の少なくとも2方向に沿って設けられ、前記被検査基板3上の欠陥部の位置座標を検出する位置座標検出手段と(19,20)、ミクロ観察系(9)を支持し、前記被検査基板3の面上を移動するよう設けられた観察系支持手段(6)と、前記位置座標検出手段(19,20)により検出された欠陥部の位置座標に基づいて、前記観察系支持手段(6)のミクロ観察系(9)を前記被検査基板3上の対応する欠陥部上に位置するよう移動制御する制御手段(11)と、を具備。
請求項（抜粋）：
被検査基板を保持する基板保持手段と、この基板保持手段を所定角度まで立ち上げる駆動手段と、前記基板保持手段に、前記被検査基板の側縁の少なくとも2方向に沿って設けられ、前記被検査基板上の欠陥部の位置座標を検出する位置座標検出手段と、ミクロ観察系を支持し、前記被検査基板の面上を移動するよう設けられた観察系支持手段と、前記位置座標検出手段により検出された欠陥部の位置座標に基づいて、前記観察系支持手段のミクロ観察系を前記被検査基板上の対応する欠陥部上に位置するよう移動制御する制御手段と、を具備したことを特徴とする基板検査装置。
IPC (2件)：
G01N 21/88
, G02F 1/13 101
G01N 21/88 650
, G02F 1/13 101
