特許
J-GLOBAL ID：200903042146305830
外観検査用投光装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-361474
公開番号（公開出願番号）：特開2000-146846
出願日： 1992年02月19日
公開日（公表日）： 2000年05月26日
要約：
【要約】【課題】本発明は、簡単且つ低価格な構成で、大型基板全体を斑なく照明できると共に、基板上の異物検出能力に富み、且つ、基板の外観検査を効率よく行なえる外観検査用投光装置を提供する。【解決手段】本発明の外観検査用投光装置は、大型基板22の表面を照射して欠陥等の検査を行う外観検査装置に用いられる投光装置であって、大型基板の表面を照射する光源28と、この光源の照明光路中に配置され電圧制御により透明な状態と不透明な状態との間で切り換え可能な散乱手段24と、散乱手段の印加電圧を制御して透明状態と不透明状態との間で切り換える手段26と、を備えたことを特徴としている。
請求項（抜粋）：
大型基板の表面を照射して欠陥等の検査を行う外観検査装置に用いられる投光装置であって、前記大型基板の表面を照射する光源と、この光源の照明光路中に配置され電圧制御により透明な状態と不透明な状態との間で切り換え可能な散乱手段と、前記散乱手段の印加電圧を制御して透明状態と不透明状態との間で切り換える手段と、を備えたことを特徴とする外観検査用投光装置。
IPC (3件)：
G01N 21/84
, G01N 21/956
, H01L 21/66
G01N 21/84 E
, G01N 21/956 A
, H01L 21/66 J
