特許

J-GLOBAL ID：200903042146675891

半導体デバイス検査システム

発明者： 犬塚 英治 ,  石田 一幸 ,  久米 俊浩 ,  小栗 茂久 ,  鈴木 康司 ,  永田 渉
出願人/特許権者： 浜松ホトニクス株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-290168
公開番号（公開出願番号）：特開平5-129401
出願日： 1991年11月06日
公開日（公表日）： 1993年05月25日
要約：

【要約】【目的】 装置構成の簡素化。【構成】 この半導体デバイス検査システムは、レンズユニット112a,カメラヘッド112bからなるカメラ装置112及びカメラコントロールユニット132と、CPU131及びキーボード133a,マウス133bと、モニタ114(モニタ装置)とを備えている。また、暗箱121内の測定対象である半導体デバイス101を3次元方向に動かすXYZステージ部123と、照明装置122と、レンズユニット112a,XYZステージ部123,照明装置122を制御するドライバユニット115とがさらに設けられている。

請求項（抜粋）：

半導体デバイスの照明下のパターン像を撮像し第1の電気信号に変換して出力する第1のモードと、前記半導体デバイスに所定のバイアスを与えて得られる発光像を撮像して電気信号に変換して出力する第2のモードとを有する撮像装置と、この撮像装置からの前記第1の電気信号及び前記第2の電気信号を記憶するとともに前記第1または第2の電気信号に所定の演算を施して記憶する演算装置と、前記演算装置の記憶内容から前記パターン像または発光像或いは前記第1または第2の電気信号に前記所定の演算を施した像を表示するモニタ装置とを備えたことを特徴とする半導体デバイス検査システム。

IPC (4件)：

H01L 21/66 ,  G12B 5/00 ,  H01L 27/14 ,  H04N 7/18

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平1-072540
  
• 特開平2-031175
  
• 特開平3-025578