特許

J-GLOBAL ID：200903042147491735

電子線測長装置

発明者： 大高 正 ,  森 弘義 ,  戸所 秀男
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 平木 道人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-086904
公開番号（公開出願番号）：特開平6-273145
出願日： 1993年03月23日
公開日（公表日）： 1994年09月30日
要約：

【要約】【目的】 電子線測長装置において、自動測長の結果が予定の許容範囲を外れた場合に、この測長結果が正しいか否かを判断できるようにする。【構成】 画像表示手段70は測長対象物の拡大像を画像表示する。自動測長手段20は、画像表示された拡大像の予定位置の寸法を自動的に測長する。許容範囲設定手段30は、予定位置の寸法に関する許容範囲を設定する。比較判定手段40は、測長結果と許容範囲とを比較し、測長結果が許容範囲内であるか否かを判定する。当否判断情報記憶手段50は、測長結果が許容範囲外であると判定されると、その判定の当否を判断するための情報を記憶する。再表示手段60は、当否判断情報記憶手段50に記憶された前記当否判断情報を画像表示する。

請求項（抜粋）：

測長対象物の拡大像を画像表示する画像表示手段と、前記拡大像の予定位置の寸法を自動的に測長する自動測長手段と、前記予定位置の寸法に関する許容範囲を設定する許容範囲設定手段と、前記測長結果と許容範囲とを比較して測長結果が許容範囲内であるか否かを判定する比較判定手段と、測長結果が許容範囲外であると判定されると、その判定の当否を判断するための情報を記憶する当否判断情報記憶手段と、前記記憶された当否判断情報を読み出して再表示する再表示手段とを具備したことを特徴とする電子線測長装置。

IPC (4件)：

G01B 15/00 ,  G01B 11/02 ,  G01B 11/24 ,  G06F 15/70 350

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-100181
  
• 特開平4-317273
  
• 特開昭52-064955