特許

J-GLOBAL ID：200903042148726388

パリレンコーティングの製造方法

発明者： ウェリー、ジョン ,  オルソン、ロジャー、エイ ,  ビーチ、ウイリアム、エフ
出願人/特許権者： スペシャルティ、コーティング、システムズ、インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 社本 一夫 (外5名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-520626
公開番号（公開出願番号）：特表2002-505803
出願日： 1997年10月24日
公開日（公表日）： 2002年02月19日
要約：

【要約】第1層と、その上に蒸着させたパリレンポリマー層とを包含する多重レベル構造並びにその製造方法。このパリレンポリマー層は密着性及び/又は強度のような高められた諸性質を発揮することができる。このパリレン層は比較的低いレベルの不純物を有することが可能である。或る種の実施態様においては、このパリレンポリマー層は、パルスプラズマ処理を使用して形成させる。

請求項（抜粋）：

パリレンの単量体を基体の表面上に沈着(蒸着)させて層を形成させる工程;及び該層をパルスプラズマ処理により処理する工程を包含するパリレン重合体層を形成させる方法。

IPC (6件)：

H01L 21/312 ,  B32B 27/00 ,  C08G 61/10 ,  C08J 7/16 ,  C23C 14/12 ,  C23C 16/32

FI (6件)：

H01L 21/312 A ,  B32B 27/00 A ,  C08G 61/10 ,  C08J 7/16 ,  C23C 14/12 ,  C23C 16/32