特許

J-GLOBAL ID：200903042150092213

結晶切断方法

発明者： 川原 健児 ,  野村 祐介 ,  三村 征己
出願人/特許権者： 住友金属工業株式会社
代理人 (1件)： 押田 良久 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-100263
公開番号（公開出願番号）：特開平11-278983
出願日： 1998年03月27日
公開日（公表日）： 1999年10月12日
要約：

【要約】【課題】 CZ法により育成される単結晶から製品を採取する際の切断回数を少なくし、刃物コストを低減する。切断に伴って薄厚品が派生するのを回避し、単結晶をウエーハに切断する際の工数を低減する。【解決手段】 複数の引き上げ炉で単結晶の育成を行う。各炉で育成される単結晶の軸方向の酸素濃度分布を、過去の操業実績から推定する。推定された酸素濃度分布に基づき、酸素濃度スペックが異なる複数種類の製品が採取されるように、切断位置を決定する。

請求項（抜粋）：

CZ法により単結晶を育成すると共に、育成される単結晶の軸方向の酸素濃度分布を過去の操業実績から推定し、推定された酸素濃度分布に基づいて切断位置を決定することを特徴とする結晶切断方法。

IPC (3件)：

C30B 15/00 ,  B28D 5/00 ,  C30B 29/06 502

FI (3件)：

C30B 15/00 Z ,  B28D 5/00 Z ,  C30B 29/06 502 Z

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-159986
  
• 特開平3-159986
  
• 結晶中酸素濃度の制御方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-214939   出願人：住友金属工業株式会社, 住友シチックス株式会社