ガラス板の洗浄乾燥装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：稲本義雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-352069
公開番号（公開出願番号）：特開平5-166232
出願日： 1991年12月13日
公開日（公表日）： 1993年07月02日
要約：

【要約】【目的】小型で簡単な構造の装置により、ガラス板の洗浄乾燥を短時間で良好に行なう。【構成】受け台13上にガラス板16を吸着把持し、受け台13を回転しながら純水を吐出して洗浄ブラシ27で洗浄する。次に純水と溶剤で仕上げ洗浄をした後、清浄空気を吹きつけ、受け台13を高速回転させて振切り乾燥する。

請求項（抜粋）：

ガラス板を載置して吸着把持する把持手段と、前記把持手段を回転駆動する駆動手段と、前記ガラス板の面にそれぞれ純水、清浄空気及び溶剤を吐出する吐出手段と、前記ガラス板の面に摺接して移動する摺接手段とを有することを特徴とするガラス板の洗浄乾燥装置。

引用特許：

審査官引用 (4件)

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