特許

J-GLOBAL ID：200903042155219947

ポジ型レジスト組成物

発明者： 佐藤 健一郎
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 小栗 昌平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-024050
公開番号（公開出願番号）：特開2003-223001
出願日： 2002年01月31日
公開日（公表日）： 2003年08月08日
要約：

【要約】【課題】 遠紫外光、とくにArFエキシマレーザー光を使用する上記ミクロフォトファブリケ-ション本来の性能向上技術の課題を解決されたポジ型フォトレジスト組成物を提供することにあり、より具体的には、孤立ラインパターンのデフォーカスラチチュードが広い、優れた遠紫外線露光用ポジ型フォトレジスト組成物を提供することにある。【解決手段】 (A)脂環基を有する特定の繰り返し単位を2種含有する、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解速度が増大する樹脂、及び、(B)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物を含有するポジ型レジスト組成物。

請求項（抜粋）：

(A)下記一般式(I)で表される繰り返し単位及び-COORで表される基(Rは、脂環基を有する炭化水素基であり、但し-COO基と結合する炭素原子が3級炭素原子であるとき、脂環基を有する非酸分解性の炭化水素基を表す)を有する繰り返し単位を含有する、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解速度が増大する樹脂、及び、(B)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物を含有するポジ型レジスト組成物。【化1】一般式(I)において、R1は水素原子又はメチル基を表し、Aは単結合又は連結基を表し、ALGは下記一般式(pI)〜一般式(pV)のいずれかを表す。【化2】式中、R11は、メチル基、エチル基、n-プロピル基、イソプロピル基、n-ブチル基、イソブチル基又はsec-ブチル基を表し、Zは、炭素原子とともに脂環式炭化水素基を形成するのに必要な原子団を表す。R12〜R16は、各々独立に、炭素数1〜4個の、直鎖もしくは分岐のアルキル基又は脂環式炭化水素基を表す。但し、R12〜R14のうち少なくとも1つ、及びR15、R16のいずれかは脂環式炭化水素基を表す。R17〜R21は、各々独立に、水素原子、炭素数1〜4個の、直鎖もしくは分岐のアルキル基又は脂環式炭化水素基を表し、但し、R17〜R21のうち少なくとも1つは脂環式炭化水素基を表す。また、R19、R21のいずれかは炭素数1〜4個の、直鎖もしくは分岐のアルキル基又は脂環式炭化水素基を表す。R22〜R25は、各々独立に、炭素数1〜4個の、直鎖もしくは分岐のアルキル基又は脂環式炭化水素基を表し、但し、R22〜R25のうち少なくとも1つは脂環式炭化水素基を表す。また、R23とR24は、互いに結合して環を形成していてもよい。

IPC (4件)：

G03F 7/039 601 ,  C08F220/16 ,  C08F220/26 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G03F 7/039 601 ,  C08F220/16 ,  C08F220/26 ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (66件)：

2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB08 ,  2H025CB14 ,  2H025CB41 ,  2H025FA17 ,  4J100AE03Q ,  4J100AE04Q ,  4J100AE06Q ,  4J100AE09Q ,  4J100AG08Q ,  4J100AG10Q ,  4J100AG12Q ,  4J100AJ01Q ,  4J100AJ08Q ,  4J100AK32Q ,  4J100AL03Q ,  4J100AL04Q ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL09Q ,  4J100AL34Q ,  4J100AL36Q ,  4J100AL44Q ,  4J100AL63Q ,  4J100AM02Q ,  4J100AM15Q ,  4J100AM17Q ,  4J100AM21Q ,  4J100AM43Q ,  4J100BA02P ,  4J100BA03P ,  4J100BA03Q ,  4J100BA11P ,  4J100BA12P ,  4J100BA15P ,  4J100BA20P ,  4J100BA30Q ,  4J100BA31Q ,  4J100BA34Q ,  4J100BB01Q ,  4J100BC02P ,  4J100BC03P ,  4J100BC04P ,  4J100BC04Q ,  4J100BC08P ,  4J100BC09P ,  4J100BC12P ,  4J100BC15P ,  4J100BC43Q ,  4J100BC53P ,  4J100BC53Q ,  4J100BD10P ,  4J100CA01 ,  4J100CA04 ,  4J100DA01 ,  4J100DA04 ,  4J100DA28 ,  4J100DA38 ,  4J100JA38