ガス供給集積ユニット

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：富澤孝 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-145432
公開番号（公開出願番号）：特開平8-312900
出願日： 1995年05月19日
公開日（公表日）： 1996年11月26日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】狭いフロアスペースに配設可能なガス供給集積ユニットを提供すること。【構成】腐食性ガスの流れを遮断する入口開閉弁14及び出口開閉弁12と、入口開閉弁14と出口開閉弁12の中間にあって腐食性ガスの流量を制御するマスフローコントローラ11とをマスフローユニットとして一体的に構成し、ガス圧を調整するレギュレータ17と、圧力をモニターするための圧力計16と、腐食性ガスの流れを手動により遮断する手動弁18とを、マスフローユニットと並列に配設して一体化しガス供給集積ユニットとする。出口開閉弁12の出力ポートとガス供給システム本体の出力共通流路20とを連通し、出力ブロック22によってガス供給集積ユニットをガス供給システム本体に対して着脱自在に取り付け可能とする。

請求項（抜粋）：

供給ガスの搬送管路上にあって該供給ガスの流れを遮断する第一開閉弁及び第二開閉弁と、該第一及び第二開閉弁の中間にあって該供給ガスの流量を制御するマスフローコントローラとが一体的に構成されたマスフローユニットを有するガス供給集積ユニットにおいて、前記供給ガスのガス圧を調整するレギュレータと、前記供給ガスの圧力をモニターするための圧力計と、前記供給ガスの流れを手動により遮断する手動弁と、前記供給ガスの混入不純物を除去するためのフィルタのうちの少なくとも1つが、前記マスフローユニットと並列に配設され、かつ一体的なユニットを構成すると共に、前記第二開閉弁の流路とガス供給システム本体の共通流路とを連通し、前記ユニット全体を前記ガス供給システム本体に対して着脱自在に取り付ける着脱部材を有することを特徴とするガス供給集積ユニット。

引用特許：

審査官引用 (1件)

ガス供給装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-045929 出願人：株式会社東芝, シーケーディ株式会社

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