特許
J-GLOBAL ID：200903042162289985
3次元計測装置、及び3次元計測方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青山 葆 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-307345
公開番号（公開出願番号）：特開平11-142109
出願日： 1997年11月10日
公開日（公表日）： 1999年05月28日
要約：
【要約】【課題】 被計測物の表面における高さデータを正確に計測することができる3次元計測装置、及び3次元計測方法を提供することを目的とする。【解決手段】 3次元センサ101と演算装置107とを備え、上記3次元センサでは、反射レーザ光を受光するPSD素子126におけるレーザ光の受光位置と受光量との情報を複数の増幅率にて増幅し、これら増幅された上記受光位置と受光量との情報から最適な情報を出力変換回路130にて選択する。上記演算装置では、上記選択された受光位置と受光量とに基づき上記被計測面の凹凸の高さを算出し記憶する。従来一種類の増幅率にてなる受光位置と受光量との情報にて上記被計測面の凹凸の高さを算出していたが、複数の増幅率にてなる受光位置と受光量とから選択することで、上記高さをより正確に計測することができる。
請求項（抜粋）：
被計測面(102a)にて反射したレーザ光を検出する光検出器(126)と、上記被計測面の凹凸における高さを演算する演算装置(107)と、上記光検出器の出力情報を上記演算装置へ供給する情報に変換する変換手段(130)と、を備えた3次元計測装置であって、上記変換手段は、上記光検出器の出力情報を複数の各々異なる増幅率にて増幅する複数の増幅手段(133,134)と、上記増幅手段の出力情報の内、上記光検出器における光量下限状態又は光量飽和状態以外の計測可能状態にある出力情報を選択し上記演算装置へ送出するデータ切替手段(137)と、を備えたことを特徴とする3次元計測装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 11/00 A
, G01B 11/02 Z
