特許

J-GLOBAL ID：200903042163463075

ウエハ検査装置

発明者： 藤池 光次郎 ,  楡井 辰夫 ,  茨木 秀文 ,  加藤 智生 ,  秋葉 徹
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-237206
公開番号（公開出願番号）：特開平8-102479
出願日： 1994年09月30日
公開日（公表日）： 1996年04月16日
要約：

【要約】【目的】 この発明の目的は、容易且つ迅速にウエハの検査を行う事ができるウエハ検査装置を提供することである。【構成】 複数のウエハを載置し、ウエハ出し入れ用の開口を一方に有するウエハ保持体11と、ウエハ保持体11から所望のウエハを取り出し、所望の検査終了後にウエハを所望の位置に返却するウエハ取り出し/返却腕34と、取り出されたウエハのマクロ検査をするためにウエハを載置するマクロテーブル36と、ウエハの裏面をマクロ検査するためのウエハ裏返し手段とを備えており、上記ウエハ保持体11のウエハ取り出し方向とウエハ取り出し/返却腕34とを長手方向に配置したものである。

請求項（抜粋）：

複数のウエハを載置し、ウエハ出し入れ用の開口を一方に有するウエハ保持体と、ウエハ保持体から所望のウエハを取り出し、所望の検査終了後にウエハをウエハ保持体中の所望の位置に返却するウエハ搬送手段と、ウエハ搬送手段により取り出されたウエハのマクロ検査をするためにウエハを載置するウエハ載置手段と、ウエハの裏面をマクロ検査するためのウエハ裏返し手段とを備えており、上記ウエハ保持体のウエハ取り出し方向とウエハ載置手段とを長手方向に配置したことを特徴とするウエハ検査装置。

IPC (2件)：

H01L 21/66 ,  H01L 21/68

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 特開昭59-010231
  

審査官引用 (3件)

• 特開昭59-010231
  
• 特開昭59-010231
  
• 特開昭59-010231